氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么　　氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料，也可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍?。弧　?.氣相沉積爐設(shè)備自動化高，關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口；操作直觀、簡便，觸摸屏經(jīng)過開發(fā)，可動態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入?！　?.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)。

　　真空燒結(jié)爐的抽真空操作　　真空燒結(jié)爐的要點(diǎn)是在真空環(huán)境中對物品進(jìn)行加熱，真空度的高低對于燒結(jié)的果有非常重要的影響。先來給看看真空燒結(jié)爐怎么抽真空的：　　1、把任何個出氣嘴與真空用軟管連接起來；　　2、對氣氛爐的爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空；　　3、通入保護(hù)氣體；　　4、再對爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空；　　5、如此循環(huán)幾次以達(dá)到爐膛內(nèi)氣氛要求。　　如果你的真空燒結(jié)爐無法抽成真空的話，那很有可能是以下3個方面出現(xiàn)了問題，趕緊檢查下：　　1、擴(kuò)散泵的問題　　檢查擴(kuò)散泵是否完整，有沒有什么破損，如果有的話就需要更換，其次看下油位是否正常，如果是因?yàn)槿庇偷膯栴}導(dǎo)致擴(kuò)散泵運(yùn)行不暢的話，及時添加即可?！　?真空泵的問題　　檢查真空泵里面是不是有破損的地方，如果有部件破損的話及時進(jìn)行更換，如果是小的問題，比如密封問題等小問題的話就自己修下，然后灌入新的機(jī)油就可以了?！　?連接系統(tǒng)的問題；　　檢查鏈接系統(tǒng)是否出現(xiàn)問題，是否存在密封不好的情況，如果有及時進(jìn)行補(bǔ)救。　　般來說造成真空燒結(jié)爐抽真空不利的基本上就是這3種問題，只要逐排查相信定能找到問題的根源。