氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　真空熔煉爐爐體上部內的中心位置設置的一個不銹鋼的熔煉池通過密封裝置與出料導槽固定連接，出料導槽另一端固定在爐體的爐壁上;熔煉池的上方的爐蓋上中心位置設置的卸料螺桿，穿過熔煉池伸入至出料導槽，爐蓋上卸料螺桿一側設置的煙囪出口與熔煉池連通;新型采用***燃氣燒嘴，天然氣為加熱原料，熱值高，熔煉速度快，并且能夠隨意移動生產，填補了硼砂熔煉設備的空白;具有能耗低、熱利用率高、體積小，結構合理、維護檢修方便、成本低的特點。使用應注意哪些問題： 　　1.預合金化 　　向真空熔煉爐鋼液加入一種或幾種合金元素，使其達到成品鋼成分規格要求的操作過程稱為合金化。多數情況下脫氧和合金化是同時進行的，加入鋼中的脫氧劑一部分消耗于鋼的脫氧，轉化為脫氧產物排出;另一部則為鋼水所吸收，起合金化作用。在脫氧操作未全部完成前，與脫氧劑同時加入的合金被鋼水吸收所起到的合金化作用稱為預合金化。 　　2.成分控制 　　保證成品鋼成分全部符合標準要求的操作。成分控制貫穿于從配料到出鋼的各個環節，但***是合金化時對合金元素成分的控制。對優質鋼往往要求把成分精確地控制在一個狹窄的范圍內;一般在不影響鋼性能的前提下，按中、下限控制。 　　3.熔化期 　　煉鋼的熔化期主要是對真空熔煉爐的平爐和電爐煉鋼而言。電弧爐煉鋼從通電開始到爐料全部熔清為止、小型真空熔煉爐煉鋼從兌完鐵水到爐料全部化完為止都稱熔化期。熔化期的任務是盡快將爐料熔化及升溫，并造好熔化期的爐渣。 　　4.還原期 　　普通功率真空甩帶爐煉鋼操作中，通常把氧化末期扒渣完畢到出鋼這段時間稱為還原期。其主要任務是造還原渣進行擴散、脫氧、脫硫、控制化學成分和調整溫度。