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常見問題

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真空燒結(jié)爐日常應(yīng)急策略
發(fā)布時(shí)間:2017-10-23   瀏覽:3183次

  真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施.

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  一. 冷卻水異常

  1、確認(rèn)加熱電源已停止。

  2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。

  3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。

  4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

  二 壓縮空氣的停止

  1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房,讓其恢復(fù)工作。

  2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警,且恢復(fù)需要較長時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設(shè)備停下來。

  三 停電

  1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。

  3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。

  四 加熱電源掉電

  1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報(bào)警。

  2、接地故障。

  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。

  4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

  五 充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止

  1、抽真空開始前,氣體充入時(shí)間長或者無法充入時(shí),請確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。

  2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。

  3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。

  4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì)影響制品質(zhì)量。

  六 真空室壓力惡化

  1、真空排氣時(shí)間比通常長時(shí),應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行檢查,根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導(dǎo)致壓力升高的情況。

  2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。

  在真空和保護(hù)性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié),要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí),一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中,高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí),加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國還未見定型產(chǎn)品。

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